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該成果具有創(chuàng)新性，在磁懸浮分子泵領(lǐng)域，徹底打破國外的技術(shù)壟斷，其技術(shù)水平為國際先進。磁懸浮分子泵
自主技術(shù)+權(quán)威認證
日常生活中，我們不常直接感知“真空”，但它已深度融入生產(chǎn)與生活的方方面面：從隨處可見的手機屏幕、車載玻璃與建筑玻璃幕墻的精密鍍膜，到電腦、攝像機等設(shè)備核心半導體器件的高端制造，乃至國家航空航天等尖端科技的突破，均離不開高質(zhì)量真空環(huán)境的支撐。在此領(lǐng)域，飛旋磁懸浮復合分子泵正以其卓越性能，為各行各業(yè)高標準真空環(huán)境的構(gòu)建提供關(guān)鍵助力。
一自主核心技術(shù)，性能卓越
飛旋磁懸浮復合分子泵實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案，適配多種應用場景。產(chǎn)品性能表現(xiàn)突出：抽速達700–2300L/s，最高轉(zhuǎn)速42000rpm，極限真空為5×10??Pa，可完全替代國外同類型產(chǎn)品。
二 科學技術(shù)成果鑒定，權(quán)威認可
國內(nèi)領(lǐng)先
國內(nèi)首次將一種五自由度控制的磁懸浮軸承應用于分子泵，填補了國內(nèi)技術(shù)空白，達國內(nèi)領(lǐng)先水平。
國際先進
該成果具有創(chuàng)新性，在磁懸浮分子泵領(lǐng)域，徹底打破國外的技術(shù)壟斷，其技術(shù)水平為國際先進。
三 四大突出特點，全面適配多場景需求
穩(wěn)定可靠
采用五自由度懸浮控制，滿足不同承載力與轉(zhuǎn)速需求
搭載抗干擾能力更強的電感式傳感器，有效避免高頻電磁干擾
使用定制陶瓷球輔助軸承，防止高速跌落對設(shè)備造成損害
配備斷電自發(fā)電系統(tǒng)，無需外接UPS，避免意外斷電導致設(shè)備損壞
定制化電源可瞬時輸出更大功率，提升抗干擾性能
葉輪采用高強度合金一體化高速銑削成型，結(jié)構(gòu)穩(wěn)固不易變形
智能運維
設(shè)備搭載智能控制系統(tǒng)，實時追蹤關(guān)鍵參數(shù)，具備故障診斷、預警及自動停機保護功能
采用自動平衡技術(shù)，動平衡變化時磁場快速補償，振動極低
磁懸浮軸承無機械接觸、無磨損，實現(xiàn)免機械維護，省去傳統(tǒng)油路系統(tǒng)
運行速度變頻可調(diào)，泵內(nèi)溫度實時監(jiān)控
可與用戶中控系統(tǒng)便捷連接，支持遠程監(jiān)控與控制，兼容Profibus_DP、Modbus、Remote等主流工業(yè)通信協(xié)議
數(shù)據(jù)可視化與追溯：自動存儲歷史運行數(shù)據(jù)與故障記錄
適配多場景安裝需求
采用五自由度磁懸浮軸承技術(shù)，支持設(shè)備任意角度安裝
設(shè)有氣體吹掃端口，可通過特定氣體（如氮氣）清除泵內(nèi)殘留有害介質(zhì)，防止污染、腐蝕或故障
可定制耐腐蝕型分子泵，適用于高真空環(huán)境下腐蝕性氣體及蒸汽的處理
設(shè)備運行噪音可低至60dB(A)，接近辦公室環(huán)境聲級
采用完全無油設(shè)計，從源頭杜絕油污染，耐粉塵、抗氣流沖擊，保持高度清潔的真空環(huán)境
節(jié)能環(huán)保
四 應用行業(yè)
憑借高度的靈活性與適應性，飛旋磁懸浮復合分子泵能夠深度適配用戶特定需求，提供量身定制的解決方案，其應用已覆蓋Low-E玻璃鍍膜、太陽能光伏、新能源動力電池、半導體及科研等行業(yè)，持續(xù)為各領(lǐng)域輸送精準高效的技術(shù)支持。
